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半導(dǎo)體無(wú)塵車間凈化工程技術(shù)方案及**難點(diǎn)處理

[ 時(shí)間:2019-04-17 閱讀:1730次 ]

  做任何行業(yè)的無(wú)塵車間,首先就需要從該行業(yè)的特征和難點(diǎn)出發(fā),進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。半導(dǎo)體是一種導(dǎo)電性可受控制,范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。半導(dǎo)體的分類,按照其制造技術(shù)可以分為:集成電路組件,分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲(chǔ)存器等。日常生活中,我們比較常見(jiàn)的是集成電路和光電半導(dǎo)體。

  半導(dǎo)體組件體積小,對(duì)精度要求高,單位通常以微米計(jì)算,半導(dǎo)體無(wú)塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。微塵顆粒沾附在半導(dǎo)體組件上,便很容易造成短路或斷路的嚴(yán)重后果,因此要求所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在安全無(wú)塵的密閉空間中。半導(dǎo)體無(wú)塵車間建立的目的是為了過(guò)濾循環(huán)空氣建議無(wú)塵環(huán)境,調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境,建立正壓環(huán)境避免外氣污染。

  半導(dǎo)體無(wú)塵車間潔凈室與各系統(tǒng)關(guān)系如下:

  無(wú)塵車間參數(shù)

  1.壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;

  2.平均風(fēng)速:100級(jí)0.3-0.5m/s;

  3.噪聲≤65dB(A);

  4.新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;

  5.照度300LX。

  6.溫度:20-26度,(車間),溫度:12-23度(用于產(chǎn)品測(cè)試)

  7.濕度:50-70%RH,(車間),濕度40-85%RH(用于產(chǎn)品測(cè)試)

  8.凈化等級(jí):100級(jí)-30萬(wàn)級(jí)(用于測(cè)試),1000-30萬(wàn)級(jí)用于生產(chǎn)。

  半導(dǎo)體制造對(duì)無(wú)塵車間工程環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為***主要的無(wú)塵車間工程設(shè)計(jì)方案。

  ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容,靜電釋放可能對(duì)產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產(chǎn)品的良率。

  半導(dǎo)體無(wú)塵車間設(shè)計(jì)及運(yùn)行注意事項(xiàng):

  1.半導(dǎo)體潔凈無(wú)塵車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈無(wú)塵車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間

  2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,空調(diào)就得開(kāi)多久。

  3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主,因此,潔凈無(wú)塵車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃細(xì)菌等在潔凈無(wú)塵車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至***低程度。

  4.半導(dǎo)體潔凈無(wú)塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的,都得使用氮?dú)?98%),吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。

  在半導(dǎo)體無(wú)塵車間的建造過(guò)程中,除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的**難點(diǎn)外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過(guò)濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)(含特種氣體供應(yīng)等)及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。

  


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食品廠凈化車間無(wú)塵車間裝修要求和標(biāo)準(zhǔn)
“病從口入”,食品的衛(wèi)生直接影響著人們的健康。無(wú)論是食品廠的加工車間和包裝車間,都有很高的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)和要求。其中,微生物污染是影響食品質(zhì)量***重要的因素,也是食品廠包裝車間和加工處理車間的凈化工程中的**。食品的安全、衛(wèi)生主要要控制三個(gè)方面:一是控制生產(chǎn)人員的規(guī)范化操作;二是控制外部環(huán)境污染(要建立相對(duì)較有潔凈度的操作空間。三是采購(gòu)源頭杜絕有問(wèn)題產(chǎn)品原料。食品日化凈化車間主要廠房配套設(shè)施:1Class1K、10K、100K級(jí)無(wú)塵室;2干燥、粉碎、殺菌清洗、包裝等生產(chǎn)設(shè)備;3壓縮空氣、排氣、純水等設(shè)施。保障食品的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量,關(guān)鍵需要建設(shè)好良好衛(wèi)生生產(chǎn)環(huán)境。針對(duì)食品危險(xiǎn)的過(guò)程控制體系,通過(guò)對(duì)食品生產(chǎn)全過(guò)程進(jìn)行危害分析、污染控制、關(guān)鍵點(diǎn)控制而營(yíng)造的負(fù)荷食品衛(wèi)生條件的生產(chǎn)環(huán)境。建設(shè)食品凈化車間良好衛(wèi)生生產(chǎn)環(huán)境主要從關(guān)鍵控制區(qū)域、背景區(qū)域、食品接觸面、人身凈化用室、物料凈化用室五個(gè)方面出發(fā)。關(guān)鍵控制區(qū)域,食品加工過(guò)程中潔凈用房?jī)?nèi)的一個(gè)區(qū)域,若該區(qū)域控制不當(dāng),極可能造成危害,非常容易導(dǎo)致成品污染。背景區(qū)域,同一潔凈用房?jī)?nèi)關(guān)鍵控制區(qū)域周邊的區(qū)域。食品接觸面,接觸食品的那些表面以及精彩在正常加工過(guò)程中會(huì)將污水滴濺在食品或?yàn)R在接觸食品的那些表面上的表面。人身凈化用室,人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。物料凈化用室,物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。食品廠潔凈廠房應(yīng)根據(jù)食品生產(chǎn)對(duì)除菌除塵和衛(wèi)生要求進(jìn)行分級(jí)。食品無(wú)塵車間應(yīng)明確其中生產(chǎn)的關(guān)鍵控制點(diǎn)、關(guān)鍵區(qū)域和背景區(qū)域,并應(yīng)分別定級(jí),并應(yīng)盡量縮小***別區(qū)域的面積。食品廠凈化車間用房等級(jí)分級(jí)和環(huán)境參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)與要求食品廠潔凈用房等級(jí)。食品的生產(chǎn)應(yīng)根據(jù)不同生產(chǎn)階段、不同關(guān)鍵控制點(diǎn)或食品本身的屬性在對(duì)應(yīng)等級(jí)的潔凈區(qū)域內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝對(duì)溫度和濕度無(wú)特殊要求時(shí),Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)潔凈用房溫度應(yīng)為20℃—25℃,相對(duì)濕度應(yīng)為30℃-65℃,Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)潔凈用房溫度應(yīng)為18℃—26℃,相對(duì)濕度應(yīng)為30%—70%。Ⅰ級(jí)潔凈用房的噪聲級(jí)(靜態(tài))不應(yīng)大于65dB(A),其他潔凈用房噪聲級(jí)(靜態(tài))不應(yīng)大于60dB(A)。生產(chǎn)車間按生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量要求,分為一般生產(chǎn)區(qū)、控制區(qū),設(shè)人員換鞋區(qū)、男女一、二次***室、洗手、手消毒、洗衣間、風(fēng)淋通道、潔凈人流走廊、物流貨淋走道、注塑間、膠墊吹塵、中儲(chǔ)庫(kù)、組裝間、內(nèi)包裝間、外包裝間及機(jī)房、物流等。人員流動(dòng)方向:換鞋、***、洗手、手消毒—風(fēng)淋通道—潔凈走廊—潔凈車間在凈化車間及走廊設(shè)安全門(mén),便于人員疏散。不同等級(jí)潔凈用房靜態(tài)時(shí)換氣次數(shù)應(yīng)按人員數(shù)量、面積大小、操作強(qiáng)度等條件計(jì)算確定或者按照相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)選用。新風(fēng)量應(yīng)按每人不小于40m??3;/h設(shè)計(jì),應(yīng)滿足排風(fēng)和維持正壓的需要。潔凈用房靜態(tài)時(shí)換氣次數(shù)。面對(duì)激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng),公司全體員工一直秉承“以質(zhì)量求生存,以信譽(yù)求發(fā)展“的經(jīng)營(yíng)理念,把“客戶滿意是評(píng)價(jià)我們工作的標(biāo)準(zhǔn)“作為服務(wù)宗旨;公司始終秉承“誠(chéng)信、服務(wù)、創(chuàng)新、高效“的核心價(jià)值觀,從而使鴻洋明睿贏得了客戶的好評(píng)和信賴。歡迎新老客戶來(lái)電咨詢。
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